Labor für Feldemissions-Rasterelektronenmikroskopie und Ionenstrahlanwendungen

Die Einrichtung für Rasterelektronenmikroskopie und Ionenstrahlanwendungen umfasst ein konventionelles Wolframfilament-Rasterelektronenmikroskop (FEI Inspect S-50) und ein Feldemissions-Rasterelektronenmikroskop mit fokussiertem Ionenstrahl (FEI Quanta 3D FEG). Die REM-Einrichtungen werden von den fünf erdwissenschaftlichen Subeinheiten der Fakultät für Geowissenschaften, Geographie und Astronomie gemeinsam genutzt.

FEI QuantaTM 3D FEG

Das QuantaTM 3D FEG stellt ein ausserordentlich vielseitiges Materialcharakterisierungsinstrument dar, welches elektronenmikroskopische Untersuchungen bei sehr hoher räumlicher Auflösung (bis zu 1.2 nm bei 30 kV) sowie mikro- und nano-skalige Probenbearbeitung mittels FIB erlaubt. Es handelt sich um ein Zweistrahlgerät, welches mit einer Feldemissions-Elektronenquelle sowie einer Ionensäule mit einer Gallium-Flüssigmetall-Ionenquelle ausgestattet ist. Die Ionensäule ist 52° relativ zur vertikalen Elektronensäule angeordnet, der Koinzidenzpunkt der beiden Strahlen befindet sich bei 10 mm Arbeitsabstand. Die zu erreichenden Beschleunigungsspannungen betragen für beide Strahlen bis zu 30 kV, während Strahlströme bis zu 200 nA für den Elektronenstrahl und 1pA - 65 nA für den Ionenstrahl erreicht werden können.
Das Gerät ist mit Sekundärelektronendetektoren (SED) für drei verschiedene Vakuum-Modi (Hochvakuum, Niedrigvakuum, ESEM-Modus), einem Rückstreuelektronendetektor (BSED) für z-Kontrast-Abbildung, einem Detektor für vorwärts gestreute Elektronen (FSD) für Orientierungskontrast-Abbildung, einem Rückstreuelektronenbeugungs-Detektor (EBSD) für kristallographische Orientierungsanalyse, sowie einem Detektor für Raster-Transmissionselektronenmikroskopie (STEM) ausgestattet. Energiedispersive Röntgenspektrometrie (EDX) liefert semiquantitative Materialzusammensetzungsinformation durch standardlose Analytik (Punktanalysen und spektrales Mapping). Zwei Infrarot-CCD-Kameras ermöglichen die Beobachtung der Probenkammer während des Gerätebetriebs.
Der fokusierte Ionenstrahl wird einerseits für Materialabtrag, die Anfertigung von Querschnitten und Serienschnitten, sowie die Präparation von dünnen, elektronentransparenten Folien verwendet. Für in-situ Lift-out von TEM-Folien steht ein OmniprobeTM 100.7 Mikromanipulator zur Verfügung. Zusätzlich ist das Gerät mit Gasinjektionssystemen für Pt- und C-Abscheidung ausgestattet.

Das FIB-SEM Gerät dient in erster Linie der 2D und 3D Analyse von Mikrostrukturen, Texturen und Zusammensetzungscharakteristik von Geomaterialien bei hoher räumlicher Auflösung.

Für weitere Informationen betreffend der FEI QuantaTM 3D FEG Einrichtung wenden Sie sich bitte an:

 Spezifikationen unserer FEI Quanta 3D FEG Einrichtung