Labor für Feldemissions-Rasterelektronenmikroskopie und Anwendungen des Fokusierten Ionenstrahls
Das FIB-FESEM Labor umfasst ein Feldemissions-Rasterelektronenmikroskop mit integrierter Ionensäule (FEI QuantaTM 3D FEG) für hochauflösende Bildgebung, Kristallorientierungsanalyse sowie nanoskalige Materialbearbeitung mittels fokussiertem Ionenstrahl. Als Teil der Core Facility Elektronenstrahlmikroanalytik (CFE) wird das FIB-FESEM Labor von den erdwissenschaftlichen Subeinheiten (Department für Lithosphärenforschung, Institut für Geologie, Institut für Mineralogie und Kristallographie und Institut für Paläontologie) der Fakultät für Geowissenschaften, Geographie und Astronomie (FGGA) der Universität Wien gemeinschaftlich betrieben. Zudem haben Mitglieder anderer Fakultäten und Zentren der Universität Wien und externe Partner*innen im Rahmen von Forschungskooperationen und Auftragsforschung Zugang zu der Einrichtung.
FEI QuantaTM 3D FEG
Das QuantaTM 3D FEG stellt ein ausserordentlich vielseitiges Materialcharakterisierungsinstrument dar, welches elektronenmikroskopische Untersuchungen bei sehr hoher räumlicher Auflösung (bis zu 1.2 nm bei 30 kV) sowie mikro- und nano-skalige Probenbearbeitung mittels FIB erlaubt. Es handelt sich um ein Zweistrahlgerät, welches mit einer Feldemissions-Elektronenquelle sowie einer Ionensäule mit einer Gallium-Flüssigmetall-Ionenquelle ausgestattet ist. Die Ionensäule ist 52° relativ zur vertikalen Elektronensäule angeordnet, der Koinzidenzpunkt der beiden Strahlen befindet sich bei 10 mm Arbeitsabstand. Die zu erreichenden Beschleunigungsspannungen betragen für beide Strahlen bis zu 30 kV, während Strahlströme bis zu 200 nA für den Elektronenstrahl und 1pA - 65 nA für den Ionenstrahl erreicht werden können.
Das Gerät ist mit Sekundärelektronendetektoren (SED) für drei verschiedene Vakuum-Modi (Hochvakuum, Niedrigvakuum, ESEM-Modus), einem Rückstreuelektronendetektor (BSED) für z-Kontrast-Abbildung, einem Detektor für vorwärts gestreute Elektronen (FSD) für Orientierungskontrast-Abbildung, einem Rückstreuelektronenbeugungs-Detektor (EBSD) für kristallographische Orientierungsanalyse, sowie einem Detektor für Raster-Transmissionselektronenmikroskopie (STEM) ausgestattet. Energiedispersive Röntgenspektrometrie (EDX) liefert semiquantitative Materialzusammensetzungsinformation durch standardlose Analytik (Punktanalysen und spektrales Mapping). Zwei Infrarot-CCD-Kameras ermöglichen die Beobachtung der Probenkammer während des Gerätebetriebs.
Der fokusierte Ionenstrahl wird einerseits für Materialabtrag, die Anfertigung von Querschnitten und Serienschnitten, sowie die Präparation von dünnen, elektronentransparenten Folien verwendet. Für in-situ Lift-out von TEM-Folien steht ein OmniprobeTM 100.7 Mikromanipulator zur Verfügung. Zusätzlich ist das Gerät mit Gasinjektionssystemen für Pt- und C-Abscheidung ausgestattet.
Das FIB-SEM Gerät dient in erster Linie der 2D und 3D Analyse von Mikrostrukturen, Texturen und Zusammensetzungscharakteristik von Geomaterialien bei hoher räumlicher Auflösung.
Für weitere Informationen betreffend des FEI QuantaTM 3D FEG Gerätes wenden Sie sich bitte an:
Nutzungsordnung FIB-FESEM-Labor
Dateigröße: 334 kB
Spezifikationen des FEI Quanta(TM) 3D FEG Gerätes
Dateigröße: 78 kB